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无尘室洁净_无尘室洁净度等级标准

发布时间:2025-08-01 15:30:47人气:

       无尘室(洁净室)是一种通过控制空气颗粒物、温度、湿度、压力等参数来满足特定洁净度要求的封闭空间,广泛应用于半导体、医药、生物技术、精密制造等领域。以下是关于无尘室洁净度的关键信息:

       ---

       一、无尘室洁净度等级标准

       国际通用的洁净度分级标准为ISO14644-1,根据每立方米空气中特定粒径的颗粒物数量划分等级:

       -ISO1级:最严格,允许≤0.1μm的颗粒物≤12个/m³。

       -ISO5级(相当于旧标准Class100):0.5μm颗粒物≤3,520个/m³。

       -ISO7级(Class10,000):0.5μm颗粒物≤352,000个/m³。

       -ISO9级(Class100,000):0.5μm颗粒物≤3,520,000个/m³。

       不同行业对洁净度要求不同:

       -半导体芯片制造:ISO1-3级

       -医药无菌生产:ISO5-7级

       -医疗手术室:ISO5-7级

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       二、洁净度控制的核心要素

       1.空气过滤系统:

       -使用HEPA(高效空气过滤器)或ULPA(超高效空气过滤器),过滤效率达99.97%~99.99995%。

       -采用多级过滤(初效、中效、高效)。

       2.压差控制:

       -通过正压(如药品生产)防止外部污染物进入,或负压(如生物安全实验室)避免内部污染外泄。

       -相邻区域压差通常为5-20Pa。

       3.温湿度调节:

       -温度一般控制在20-24℃(某些精密仪器需±0.1℃精度)。

       -湿度常保持在40%-60%以减少静电和微生物滋生。

       4.气流组织:

       -层流(单向流):气流以均匀速度平行流动,适合高洁净区域(如手术台)。

       -湍流(非单向流):通过稀释颗粒物实现洁净,适用于较低洁净度区域。

       5.人员与物料管理:

       -人员需穿戴洁净服(如连体服、手套、口罩),经过风淋室去除表面颗粒。

       -物料通过传递窗或气闸室进出,需严格消毒。

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       三、无尘室设计与维护要点

       1.设计建造:

       -选址远离振动源、粉尘区域。

       -内墙采用光滑、无死角材料(如彩钢板、不锈钢),地板用PVC或环氧树脂。

       -合理规划送风、回风系统,避免气流死角。

       2.运维管理:

       -定期清洁消毒(墙面、设备、地板)。

       -监控颗粒物、压差、温湿度(24/7实时传感器+人工检测)。

       -按计划更换过滤器(通常HEPA每3-5年更换,需监测压差变化)。

       3.人员培训:

       -严格规范操作流程(如进出程序、设备使用)。

       -定期考核洁净室行为规范。

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       四、常见问题

       1.如何选择洁净度等级?

       -根据生产工艺要求、行业标准及成本综合评估。例如,药品无菌灌装需ISO5级,但包装区域可能只需ISO8级。

       2.最大的污染源是什么?

       -人员活动(皮肤屑、衣物纤维)占80%以上污染,其次是设备运行产生的微粒。

       3.过滤器何时更换?

       -通常根据压差监测(压差下降超过20%需检查),而非固定时间。

       4.为什么需要控制温湿度?

       -温度波动导致材料变形,湿度过高易滋生微生物,过低则产生静电吸附颗粒。

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       五、典型应用场景

       -半导体:光刻车间(ISO1-3级)、晶圆清洗。

       -制药:无菌制剂灌装(ISO5级)、疫苗生产。

       -生物实验室:基因测序、细胞培养(ISO5-7级)。

       -医疗:手术室、骨髓移植病房(ISO5级)。

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       通过严格的设计、管理和维护,无尘室可为高精度制造或敏感实验提供可靠的洁净环境。如果有具体应用场景,可进一步定制方案!

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