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百级无尘净化室_百级无尘净化室标准

发布时间:2025-07-12 00:30:34人气:

       百级无尘净化室是指空气洁净度达到ISO标准中Class5级别的洁净室(对应美国联邦标准FS209E的Class100),主要用于对微尘、微生物、温湿度等环境参数有严格控制的领域(如半导体制造、生物医药、精密仪器生产等)。以下是关于百级无尘净化室的详细介绍:

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       1.核心标准与定义

       -ISO14644-1标准:

       -Class5:每立方米空气中,≥0.5μm的颗粒数≤3,520个,≥5μm的颗粒数为0。

       -对应美国FS209E标准:Class100(每立方英尺空气中≥0.5μm的颗粒数≤100个)。

       -检测条件:静态(空载)和动态(运行状态)需分别符合标准。

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       2.关键技术要求

       -空气过滤系统:

       -使用HEPA过滤器(高效空气过滤器,过滤效率≥99.97%),部分场景需要ULPA过滤器(超高效,效率≥99.999%)。

       -空气循环次数:每小时换气次数达300-600次,确保快速清除污染物。

       -气流组织:

       -单向流(层流):最常见的形式(如垂直层流或水平层流),空气以均匀的流速单向流动,避免涡流导致污染物滞留。

       -非单向流(湍流):适用于局部洁净控制。

       -温湿度控制:

       -温度:通常控制在20-24℃±1℃。

       -湿度:控制在40%-60%±5%,防止静电和微生物滋生。

       -压差控制:

       -洁净室对外保持正压(+10-30Pa),防止外部污染物进入。

       -材料与结构:

       -墙面、地面采用无缝隙、抗静电、不产尘的材料(如环氧树脂地坪、不锈钢板)。

       -设备和家具需无尘设计,避免积尘死角。

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       3.主要应用领域

       -半导体制造:芯片光刻、刻蚀等工艺对微粒高度敏感。

       -生物医药:无菌药品生产(如注射液)、生物实验室(细胞培养、基因工程)。

       -精密仪器:光学器件、微电子组装、航天器件生产。

       -医疗手术室:骨科、器官移植等高洁净度手术环境。

       -纳米材料研究:超精密实验需避免纳米级污染。

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       4.运维管理要点

       -人员规范:

       -穿戴无尘服(连体服、手套、口罩、鞋套)。

       -严格限制进入人数,设置风淋室消除人体携带的颗粒。

       -清洁与消毒:

       -定期使用专用无尘清洁工具(如超细纤维布、异丙醇)。

       -高频次消毒(紫外灯或臭氧)以控制微生物。

       -设备监控:

       -实时监测颗粒数、温湿度、压差、风速等参数。

       -定期更换过滤器和维护空调系统。

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       5.测试与认证

       -颗粒计数:使用激光粒子计数器检测颗粒浓度。

       -风速测试:确保气流均匀性(单向流区域风速通常0.3-0.5m/s)。

       -泄漏测试:检查HEPA/ULPA过滤器和密封性。

       -微生物检测(医药领域):沉降菌、浮游菌、表面微生物采样。

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       6.成本与挑战

       -建造成本:根据面积和技术要求,每平方米造价约1-3万元。

       -能耗:高换气次数和温湿度控制导致较高电耗。

       -长期维护:需持续投入人力、耗材及设备更新费用。

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       总结

       百级无尘净化室是高技术产业的关键基础设施,需要精密的设计、严格的运维和持续监测。其核心目标是通过控制颗粒和微生物,保障产品的良率和安全性。对于具体项目,建议结合工艺需求、预算和行业标准(如GMP、ISO)进行定制化设计。

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