净化无尘车间(又称洁净室)是需要在特定环境中控制微粒、温度、湿度、气压等参数以满足生产工艺要求的场所,广泛应用于电子、半导体、医药、生物技术、精密制造、医疗等领域。以下是净化无尘车间的核心要求:
---
1.空气洁净度等级
-按国际标准分类:遵循ISO14644-1或国内标准(如GB50073),洁净度等级以每立方米空气中≥0.1μm或≥0.5μm的颗粒数划分(如ISOClass5、Class1000等)。
-ISOClass1~5级:超高标准(如芯片制造)。
-ISOClass6~9级:一般工业或医疗用途。
-行业特殊标准:例如医药行业的GMP(A/B/C/D级)、医疗手术室的洁净度要求等。
---
2.空气循环与过滤系统
-高效过滤:采用初效、中效、高效(HEPA)或超高效(ULPA)过滤器,过滤效率需≥99.97%(对0.3μm颗粒)。
-气流组织:
-单向流(层流):适用于高洁净区域(如手术室、芯片生产线),气流方向单一且均匀。
-非单向流(紊流):通过稀释效应降低污染物浓度,适用于较低洁净等级区域。
-换气次数:根据洁净度等级调整(如ISOClass5级换气次数约300-400次/小时)。
---
3.温湿度控制
-温度:通常为22±2℃,特殊工艺(如精密仪器)需更高精度(±0.5℃)。
-湿度:一般控制在45%~65%,防止静电或微生物滋生;半导体行业可能需更低湿度(如30%~50%)。
---
4.压差控制
-梯度压差:确保洁净区对非洁净区保持正压(防止污染侵入),如核心区>缓冲区>普通区。
-压差范围:5~20Pa。
-监控:安装压差传感器并实时报警。
---
5.人员与物料净化流程
-人员净化:
-穿戴无尘服、口罩、手套、鞋套,经过风淋室(风速≥20m/s,吹淋时间15~30秒)。
-限制人员数量和活动范围,培训无尘操作规范。
-物料净化:
-物料通过传递窗(带紫外线杀菌)或气闸室进入,表面清洁处理。
---
6.建筑与装修要求
-材料:墙面、地面、天花板需光滑、无死角、耐腐蚀(如环氧树脂地坪、彩钢板墙面)。
-密闭性:门窗、管线接口严密,避免漏风或积尘。
-防静电设计:地面采用导电材料,设备接地(静电敏感区域要求表面电阻≤10^6Ω)。
---
7.污染源控制
-设备与工具:选择低发尘材料(不锈钢、特氟龙),减少机械摩擦。
-清洁消毒:定期清洁(无尘布+酒精/去离子水),医药车间需灭菌处理(紫外线、臭氧或过氧化氢)。
-废料处理:设置专用出口,避免交叉污染。
---
8.监测与维护
-在线监测:实时监控颗粒物(激光粒子计数器)、温湿度、压差等参数。
-定期检测:
-高效过滤器完整性测试(PAO检漏)。
-微生物检测(浮游菌、沉降菌)。
-风速与换气次数验证。
-记录与验证:符合GMP或ISO体系要求,定期再认证。
---
9.特殊行业附加要求
-医药/医疗:符合GMP规范,设置A级层流罩、B级背景区,验证灭菌流程。
-食品行业:侧重微生物控制,防止交叉污染。
-半导体行业:防静电、防振动,控制AMC(气态分子污染物)。
---
10.其他要求
-照明:充足均匀,照度通常300~500Lux,避免死角。
-噪声:≤65dB(A),特殊区域要求更低。
-节能设计:优化空调系统能耗(变频控制、热回收)。
---
通过严格满足以上要求,净化无尘车间可确保生产环境稳定、产品质量可靠,并符合行业法规与标准。实际设计和施工需根据具体工艺需求与现场条件进行调整。