无尘净化车间（CleanRoom）是专为控制空气中微粒、温度、湿度、压力等参数而设计的特殊环境，广泛应用于半导体、生物医药、精密电子、食品加工等领域。其核心设备组合决定了车间的净化效果和运行效率。以下是主要设备及相关说明：
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一、空气净化与循环系统
1.高效/超高效过滤器（HEPA/ULPA）
-作用：过滤空气中≥0.3μm的颗粒物，HEPA过滤效率≥99.97%，ULPA可达99.9995%以上。
-应用：通常安装在送风末端或FFU（风机过滤单元）中。
2.FFU（风机过滤单元）
-内置风机和高效过滤器的模块化设备，可灵活安装在吊顶，实现局部高洁净度。
3.新风系统
-提供洁净新风并维持车间正压，防止外部污染空气渗入，需配套初效、中效过滤器。
4.回风系统
-循环过滤室内空气，减少能耗，通常结合风道设计使用。
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二、温湿度与压力控制设备
1.空调机组（AHU）
-调控温湿度，过滤空气，需集成冷热源（如冷水机组、电加热）和加湿/除湿系统。
2.正压控制系统
-通过压差传感器和变频风机调节各区域压差，确保空气流向从高洁净区流向低洁净区。
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三、洁净室结构与辅助设备
1.风淋室
-人员/物料进入洁净区前的吹淋设备，去除表面颗粒，双门互锁设计防止污染。
2.传递窗
-带紫外灯或高效过滤器的密闭窗口，用于跨洁净级别区域传递物品。
3.洁净工作台/层流罩
-提供局部ISO5级（Class100）超净环境，用于样品处理等精密操作。
4.防静电设备
-包括离子风机、防静电地板等，用于电子行业减少静电吸附颗粒。
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四、监测与控制系统
1.粒子计数器
-实时监测空气中颗粒物浓度（如0.3μm、0.5μm粒径），符合ISO14644标准。
2.压差计/温湿度传感器
-监测环境参数并联动控制系统调整。
3.EMS（环境监控系统）
-整合数据采集、报警及远程控制功能，确保环境参数稳定。
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五、水与气体处理系统
1.超纯水系统（UPW）
-反渗透（RO）+EDI（电去离子）技术，用于清洗或生产用水。
2.高纯气体供应
-氮气、氩气等特殊气体需经终端过滤器（0.01μm）净化。
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六、消毒与灭菌设备
1.紫外灯/臭氧发生器
-对空气和表面进行灭菌，常用于生物实验室或无菌车间。
2.VHP（汽化过氧化氢）灭菌系统
-适用于高洁净度区域的深度灭菌。
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选型与维护关键点
-洁净等级匹配：根据行业标准（如ISO14644、GMP）选择设备规格（如换气次数、过滤器等级）。
-能耗优化：采用变频风机、热回收系统降低运营成本。
-维护计划：定期更换过滤器（初效1-3月，高效1-3年）、清洁风道、校准传感器。
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通过合理配置上述设备，无尘净化车间可实现从百级到十万级的洁净度要求，满足不同产业的精密生产需求。具体方案需结合工艺特点、空间布局及预算综合设计。
