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无尘室洁净施工_无尘室洁净施工方案

发布时间:2025-06-25 15:30:51人气:

       无尘室(洁净室)是高度控制环境中微粒、温湿度、压差、微生物等参数的封闭空间,广泛应用于电子、半导体、医药、生物科技、精密制造等领域。其施工需严格遵循洁净工程标准(如ISO14644、GB50073),以下从设计到施工的关键步骤和技术要点进行说明:

       ---

       一、前期规划与设计

       1.洁净度等级划分

       -根据ISO14644标准,确定无尘室级别(ISOClass1-9),如:

       -ISO5级(百级):芯片制造、精密光学;

       -ISO7级(万级):医药生产、医疗设备;

       -需明确温度(通常20-24℃)、湿度(45%-60%)、压差(5-15Pa梯度)等参数。

       2.布局设计

       -功能分区:人流/物流通道分离,设置缓冲间、风淋室、更衣区;

       -气压梯度:核心区>走廊>更衣区>普通区域,防止外界污染;

       -材料选择:墙面/天花采用电解钢板或彩钢板,地面使用PVC卷材或环氧自流平,接缝需密闭。

       ---

       二、施工关键技术

       1.围护结构施工

       -墙体与吊顶:采用双层防火彩钢板,接缝处使用硅胶密封,避免积尘;

       -门窗:密闭型材料,窗框四角需圆弧处理,门带闭门器和密封条。

       2.高效空气过滤系统

       -FFU(风机过滤单元):顶部安装HEPA(高效)或ULPA(超高效)过滤器;

       -气流组织:单向流(垂直/水平层流)或非单向流(紊流),确保空气循环覆盖全区域;

       -新风系统:预过滤(初效+中效)及温湿度预处理,降低主过滤器负担。

       3.地面与防静电处理

       -环氧自流平:无缝隙、耐磨、易清洁;

       -防静电地板:添加导电材料(碳纤维或铜箔),电阻值需控制在10⁵-10⁹Ω;

       -圆弧处理:墙与地面连接处采用R≥30mm圆弧角,避免积灰死角。

       4.管道与设备安装

       -风管:内壁需光滑,安装后需分段进行漏风检测(漏风率≤1%);

       -水电管路:隐蔽式安装,穿墙部位密封处理;

       -洁净设备:设备基座需防震,运行时振动值需符合标准(如≤3μm/s)。

       ---

       三、污染物控制措施

       1.人员与物料管控

       -人员需穿戴洁净服(Class1000以下需连体服),通过风淋室吹扫≥15秒;

       -物料进入需在传递窗内进行表面消毒或双层包装拆除。

       2.施工过程清洁管理

       -分阶段清洁:粗施工→精细施工→全面清洁(真空吸尘+无尘布擦拭);

       -禁止扬尘作业:墙体切割、焊接等需在外部完成或使用吸尘工具。

       3.微生物控制(制药行业)

       -安装紫外线消毒灯或臭氧发生器;

       -墙面/地面使用抗菌涂层。

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       四、检测与验收

       1.洁净度测试

       -粒子计数器检测:按ISO标准对≥0.3μm/0.5μm粒子数采样;

       -微生物采样:采用沉降菌法或浮游菌法(医药行业强制要求)。

       2.系统性能验证

       -风速与换气次数:单向流区域风速需达0.3-0.5m/s;

       -压差测试:相邻区域压差≥5Pa;

       -泄漏测试:HEPA/ULPA过滤器检漏(PAO气溶胶法)。

       3.文件交付

       -提供洁净室竣工图、检测报告、操作SOP及维护手册。

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       五、常见问题与解决方案

       -洁净度不达标:排查过滤器密封性、气流死角或施工残留污染;

       -压差失衡:调整新风/排风量或检查门缝密闭性;

       -静电积聚:检查接地系统或增加离子风机。

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       无尘室施工需结合工艺需求、行业标准和持续维护,建议选择具备ISO认证的洁净工程公司,并在施工中全程监控污染风险,确保交付后长期稳定运行。

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