无尘室(洁净室)是高度控制环境中微粒、温湿度、压差、微生物等参数的封闭空间,广泛应用于电子、半导体、医药、生物科技、精密制造等领域。其施工需严格遵循洁净工程标准(如ISO14644、GB50073),以下从设计到施工的关键步骤和技术要点进行说明:
---
一、前期规划与设计
1.洁净度等级划分
-根据ISO14644标准,确定无尘室级别(ISOClass1-9),如:
-ISO5级(百级):芯片制造、精密光学;
-ISO7级(万级):医药生产、医疗设备;
-需明确温度(通常20-24℃)、湿度(45%-60%)、压差(5-15Pa梯度)等参数。
2.布局设计
-功能分区:人流/物流通道分离,设置缓冲间、风淋室、更衣区;
-气压梯度:核心区>走廊>更衣区>普通区域,防止外界污染;
-材料选择:墙面/天花采用电解钢板或彩钢板,地面使用PVC卷材或环氧自流平,接缝需密闭。
---
二、施工关键技术
1.围护结构施工
-墙体与吊顶:采用双层防火彩钢板,接缝处使用硅胶密封,避免积尘;
-门窗:密闭型材料,窗框四角需圆弧处理,门带闭门器和密封条。
2.高效空气过滤系统
-FFU(风机过滤单元):顶部安装HEPA(高效)或ULPA(超高效)过滤器;
-气流组织:单向流(垂直/水平层流)或非单向流(紊流),确保空气循环覆盖全区域;
-新风系统:预过滤(初效+中效)及温湿度预处理,降低主过滤器负担。
3.地面与防静电处理
-环氧自流平:无缝隙、耐磨、易清洁;
-防静电地板:添加导电材料(碳纤维或铜箔),电阻值需控制在10⁵-10⁹Ω;
-圆弧处理:墙与地面连接处采用R≥30mm圆弧角,避免积灰死角。
4.管道与设备安装
-风管:内壁需光滑,安装后需分段进行漏风检测(漏风率≤1%);
-水电管路:隐蔽式安装,穿墙部位密封处理;
-洁净设备:设备基座需防震,运行时振动值需符合标准(如≤3μm/s)。
---
三、污染物控制措施
1.人员与物料管控
-人员需穿戴洁净服(Class1000以下需连体服),通过风淋室吹扫≥15秒;
-物料进入需在传递窗内进行表面消毒或双层包装拆除。
2.施工过程清洁管理
-分阶段清洁:粗施工→精细施工→全面清洁(真空吸尘+无尘布擦拭);
-禁止扬尘作业:墙体切割、焊接等需在外部完成或使用吸尘工具。
3.微生物控制(制药行业)
-安装紫外线消毒灯或臭氧发生器;
-墙面/地面使用抗菌涂层。
---
四、检测与验收
1.洁净度测试
-粒子计数器检测:按ISO标准对≥0.3μm/0.5μm粒子数采样;
-微生物采样:采用沉降菌法或浮游菌法(医药行业强制要求)。
2.系统性能验证
-风速与换气次数:单向流区域风速需达0.3-0.5m/s;
-压差测试:相邻区域压差≥5Pa;
-泄漏测试:HEPA/ULPA过滤器检漏(PAO气溶胶法)。
3.文件交付
-提供洁净室竣工图、检测报告、操作SOP及维护手册。
---
五、常见问题与解决方案
-洁净度不达标:排查过滤器密封性、气流死角或施工残留污染;
-压差失衡:调整新风/排风量或检查门缝密闭性;
-静电积聚:检查接地系统或增加离子风机。
---
无尘室施工需结合工艺需求、行业标准和持续维护,建议选择具备ISO认证的洁净工程公司,并在施工中全程监控污染风险,确保交付后长期稳定运行。